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    半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

    簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

    • 產(chǎn)品型號:AES-4535
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時間:2025-01-13
    • 訪  問  量:3558
    詳情介紹
    品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風(fēng)冷式
    價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

     型號AES-4535
     AES-4535W
    AES-6035
     AES-6035W
    AES-8035
     AES-8035W
    AES-A1035WAES-A1235W
    溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
    制冷量-45℃2.5kW    
    -60℃ 2kW   
    -80℃  1.5kW  
    -100℃   1.2kW 
    -120℃    1.2kW
    溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
    溫度轉(zhuǎn)換時間-25℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -25℃
    約20s
    -45℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -45℃
    約20s
    -55℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -55℃
    約15s
    -70℃ to 150℃ 約10S
    150℃to  -70℃
    約20s
    -80℃ to 150℃ 約11S
    150℃to  -80℃
    約20s
    空氣要求空氣濾清器<5um
    空氣含油量:<0.1ppm
    空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
    空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
    系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)(高壓、低壓)
    循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
    控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
    溫度控制控制出風(fēng)口溫度
    可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
    通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
    設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
    溫度反饋T型溫度傳感器
    壓縮機法國泰康/艾默生
    蒸發(fā)器套管式換熱器
    加熱器法蘭式桶狀加熱器
    制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
    操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
    安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
    制冷劑冠亞混合制冷劑
    外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
    外型尺寸(風(fēng))cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
    外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
    風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機
    水冷型 W帶W型號為水冷型
    水冷冷凝器板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔)
    冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
    G3/8
    1.2m³/h
    G3/4
    1.6m³/h
    G1
    2.6m³/h
    G1
    3m³/h
    G1
    電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
    電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
    外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
    溫度擴展高溫到 +300℃

     

     

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

    <strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>


    半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

    半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

      半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中,也需要對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置進行必要的檢查和維護保養(yǎng),定期維護有利于半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置制冷效率,同時也有利于延長壽命。

      1、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置溫控器,確保溫控器正常顯示。

      2、檢查半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷媒量,如果不夠,需要及時補充冷媒。

      3、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的整個電控系統(tǒng)、主機電路系統(tǒng)做一次徹查,確保正常。

      4、試機運行并進行總校正,測試過熱度是否正常,各個部件有無異常聲音等。

      5、清洗半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器,如果水質(zhì)不是太差的話,建議累積運行半年清洗一次。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間運行當(dāng)中,會有很多水雜質(zhì)產(chǎn)生,會影響制冷效果以及使用壽命等。

      6、檢查冷凍油及潤滑油系統(tǒng),如有污染建議對其進行更換,以利壓縮機更加自如的運轉(zhuǎn)。

      7、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置壓縮機馬達線圈進行測試。

      8、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關(guān),確定高、低壓壓力在正常范圍內(nèi)。

    9、檢查干燥過濾器是否正常,有沒有堵塞,必要時應(yīng)予以更換全新的干燥過濾器。

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